-
-
0
-
010000001龙玺精密-二手半导体设备买卖翻新~ KLA SURFSCAN SFS6220颗粒检测仪 DISCO DFG850研磨机 ACCRETECH UF3000EX探针台 DISCO DAD3240划片机 ACCRETECH UF200探针台 OXFORD PLASMAPRO 100ICP蚀刻系统 LAM TCP9600SE等离子体刻蚀机 DISCO DAG810研磨机 TEL MARK7涂胶显影机 DISCO DAD3350晶圆切割机 KLA Candela 8420表面缺陷检测系统 DISCO DFG8540研磨机 AMAT Endura 5500 MOCVD气相沉积 TEL ALPHA 8S扩散炉 DISCO DFG850研磨机 KLA Surfscan SP2晶圆检测系统 TEL MARK8涂胶显影机 DISCO DFD6350切割机 DISCO DFG 8560研磨机 DISCO DFG840研磨000000引言 等离子清洗机(PlasmaCleaner)是表面工程领域的革命性设备,通过激发气体产生高能粒子态物质,实现对材料表面的原子级清洁与改性。与传统化学清洗相比,其具备无污染、高精度和可编程控制等优势,在半导体、生物医疗、航空航天等高端制造领域发挥关键作用。本文将从技术原理、设备分类、应用场景及技术革新方向展开深度解析。 一、等离子体作用机理与设备构成 1.等离子体生成原理 通过射频(RF,13.56MHz)、微波(0